Biotechnology

Nanotechnology

  • MEMS-in-TEM
  • Micro Field emitter
  • Micro lateral tunneling unit.
  • AFM cantilever array for parallel lithograpy.

Optical Microsystems (MOEMS)

  • 2 dimentional optical scanner for automobile applications

Micro-actuators

  • MEMS actuator array for Micro smart systems
  • Inertia Drive actuator


photo_nanotweezers.jpg

Photograph of
Silicon Nanotweezers
fabricated with
Silicon-On-Insulator (SOI)
technology.

C. Yamahata et al.



single_DNA_floating_electrode.jpg

Single DNA molecule
trapped between
aluminium "floating" electrodes
by means of ac dielectrophoresis.

M. Kumemura et al.


添付ファイル: filesingle_DNA_floating_electrode.jpg 8件 [詳細] filephoto_nanotweezers.jpg 7件 [詳細]

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Last-modified: 2017-02-17 (金) 15:14:30 (663d)