*MEMS lecture note [#mef9c750]
-[[Prof.Pisano's lectures:http://www.me.berkeley.edu/ME219.SP04/Lecture/]]
-[[MEMS Lecture Note:http://www.mech.chuo-u.ac.jp/lecture/yamauchi/]]
*Process [#r60d477a]
-[[Integrated Microfabrication Lab/BYU:http://www.ee.byu.edu/cleanroom/]]
*Mask degin [#p047bff2]
-[[Offer Kaye's GDSII page:http://okaye.esmartweb.com/gdsii/gdsii.html]]
-[[LASI:http://members.aol.com/lasicad/]]:IC layout and design system.
*other [#s8d9ee03]
-[[Wikipedia:http://en.wikipedia.org/]]
--[[MEMS:http://ja.wikipedia.org/wiki/MEMS]]
--[[NEMS:http://ja.wikipedia.org/wiki/NEMS]]

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