研究

バイオ応用 †

• 分子モータを用いたナノ搬送システム
• マイクロチップに集積したカンチレバー型バイオセンサ
• 液体誘電泳動による液体搬送バイオリアクタ
• DNA捕獲ナノピンセット
• ナノピンセットによるDNA・ナノ粒子の捕獲と特性評価

ナノ †

• MEMS-in-TEMを用いたシリコンナノ接合の形成過程とその場観察
• MEMS-in-TEMを用いたナノせん断破壊のリアルタイム観察
• DLC摩擦界面におけるスティックスリップ現象のTEMその場観測及び摩擦力同時測定(MEMS-in-TEM)
• マイクロトンネル電流検出デバイス
• ナノ並列リソグラフィ用AFMカンチレバーアレイlithograpy.

光応用 †

• 車積用2次元スキャナ

アクチュエータ †

• マイクロ搬送システム
• 慣性駆動型アクチュエータ

その他 †

生研公開用資料 †