クリーンルーム

成膜装置

evap.jpgsputter.jpgoxidation.jpgpalylen.jpg
真空蒸着器 2台スパッタ 2台熱酸化炉 1台パリレンコーター 1台

エッチング装置

RIE.jpgICPRIE.jpg
RIE 2台ICP-RIE 2台

観察装置

Hisomet.jpgsem.jpgfesem.jpg
レーザー顕微鏡 1台SEM 1台FE-SEM 1台

露光装置

suss.jpgDoubleMASK.jpg
片面アライナー 1台両面アライナー 2台

その他

prober.jpgoven.jpgWireBOND.JPGdansa.jpg
プローバー 1台オーブン 1台ワイヤーボンダー 2台段差計 1台

TEM部屋

観察装置

FB2000.jpgS4700.jpgHD2300.jpgHF2000UHV.jpgAFM.jpg
FIB 1台FESEM(EDAX付) 1台STEM(EDAX付) 1台超高真空TEM 1台AFM(液中可) 1台

その他

vacuum_prober.jpgplasma_cleaner.jpgcarbon_coater.jpgsupetter_TEM.jpg
真空プローバー 1台プラズマクリーナー 1台カーボンコーター 1台スパッタ 1台

Bio部屋

観察装置

fluor_scope.JPGbibun_scope.JPGlong_scope.JPG
蛍光顕微鏡 1台微分干渉顕微鏡 1台長焦点距離顕微鏡 1台

バイオ操作

cleanbench.JPGincubator.JPGautoclave.JPGshaker.JPG
クリーンベンチ 1台インキュベータ 1台オートクレーブ 1台振とう器 1台

その他

absorb.JPGfarad.JPGplazma.JPG
吸光光度計 1台ファラデーケージ 1台プラズマクリーナー 1台

添付ファイル: fileoxidation.jpg 486件 [詳細] filesem.jpg 392件 [詳細] fileshaker.JPG 374件 [詳細] filepalylen.jpg 487件 [詳細] filelong_scope.JPG 407件 [詳細] filesuss.jpg 456件 [詳細] filefesem.jpg 485件 [詳細] filedansa.jpg 427件 [詳細] filebibun_scope.JPG 482件 [詳細] fileprinter.jpg 230件 [詳細] fileS4700.jpg 504件 [詳細] fileprober.jpg 427件 [詳細] fileplazma.JPG 436件 [詳細] fileoven.jpg 413件 [詳細] fileHisomet.jpg 536件 [詳細] fileLPCVD.jpg 256件 [詳細] fileFB2000.jpg 536件 [詳細] filefluor_scope.JPG 410件 [詳細] fileincubator.JPG 389件 [詳細] filesputter.jpg 418件 [詳細] fileabsorb.JPG 482件 [詳細] fileevap.jpg 487件 [詳細] fileWireBOND.JPG 460件 [詳細] fileplasma_cleaner.jpg 440件 [詳細] filecarbon_coater.jpg 491件 [詳細] fileICPRIE.jpg 591件 [詳細] filecleanbench.JPG 469件 [詳細] fileyet.jpg 222件 [詳細] fileHD2300.jpg 575件 [詳細] fileRIE.jpg 524件 [詳細] fileDoubleMASK.jpg 515件 [詳細] filevacuum_prober.jpg 461件 [詳細] fileautoclave.JPG 429件 [詳細] fileHF2000UHV.jpg 529件 [詳細] filesupetter_TEM.jpg 422件 [詳細] filefarad.JPG 356件 [詳細] fileAFM.jpg 522件 [詳細]

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Last-modified: 2017-02-17 (金) 14:33:04 (973d)