アンモニアと過酸化水素水と水を混ぜたもの。水を入れないと強すぎてシリコンがエッチングされる。
有機・パーティクル除去に有効。シリコンは少しエッチングされる。酸化膜もできる。
臭いので注意
APMとも言われる。


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