アンモニアと過酸化水素水と水を混ぜたもの。水を入れないと強すぎてシリコンがエッチングされる。~
有機・パーティクル除去に有効。シリコンは少しエッチングされる。酸化膜もできる。~
臭いので注意~
APMとも言われる。
#author("2017-02-24T12:43:53+09:00","default:fujita","fujita")



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