レジストを塗布した後([[プレベーク]])あるいは現像した後([[ポストベーク]])にサンプルを暖めること
#author("2017-02-24T12:45:14+09:00","default:fujita","fujita")

[[プレベーク]]しておかないと後で[[レジスト]]が剥がれる。

[[ポストベーク]]は必要に応じて行う。



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