基板同士を張り合わせることを言う

陽極接合

パイレックス?(熱膨張係数がシリコンに近い)ガラスとシリコン

温度(300〜500℃)と電圧(数百V)掛けてくっつける
高温からいきなり冷却すると割れるので注意

直接接合

その他


トップ   新規 一覧 単語検索 最終更新   ヘルプ   最終更新のRSS