基板同士を張り合わせることを言う
#author("2017-02-24T12:45:26+09:00","default:fujita","fujita")

**陽極接合
[[パイレックス]](熱膨張係数がシリコンに近い)ガラスとシリコン

温度(300〜500℃)と電圧(数百V)掛けてくっつける~
高温からいきなり冷却すると割れるので注意~

**直接接合

**その他



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