クリーンルーム

成膜装置

evap.jpgsputter.jpgyet.jpgyet.jpg
真空蒸着器 2台スパッタ 2台熱酸化炉 1台パリレンコーター 1台

エッチング装置

RIE.jpgICPRIE.jpg
RIE 2台ICP-RIE 2台

観察装置

Hisomet.jpgyet.jpgyet.jpg
レーザー顕微鏡 1台SEM 1台FE-SEM 1台

露光装置

yet.jpgDoubleMASK.jpg
片面アライナー 1台両面アライナー 2台

その他

yet.jpgyet.jpgyet.jpgyet.jpgWireBOND.JPG
スピンコーター 2台プローバー 1台CMP 1台オーブン 1台ワイヤーボンダー 2台

TEM部屋

観察装置

FB2000.jpgS4700.jpgHD2300.jpgHF2000UHV.jpgAFM.jpg
FIB 1台FESEM(EDAX付) 1台STEM(EDAX付) 1台超高真空TEM 1台AFM(液中可) 1台

その他

vacuum_prober.jpgplasma_cleaner.jpgcarbon_coater.jpgsupetter_TEM.jpg
真空プローバー 1台プラズマクリーナー 1台カーボンコーター 1台スパッタ 1台

Bio部屋

観察装置

fluor_scope.JPGbibun_scope.JPGlong_scope.JPG
蛍光顕微鏡 1台微分干渉顕微鏡 1台長焦点距離顕微鏡 1台

バイオ操作

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クリーンベンチ 1台冷凍庫 2台遠心分離機 1台

その他

absorb.JPGfarad.JPGplazma.JPG
吸光光度計 1台ファラデーケージ 1台プラズマクリーナー 1台

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