*クリーンルーム [#se980e3e]
**成膜装置 [#ra01d0cf]
|CENTER: &ref(evap.jpg);|CENTER: &ref(sputter.jpg);|CENTER: &ref(yet.jpg);|CENTER: &ref(yet.jpg);|
|CENTER: &ref(evap.jpg);|CENTER: &ref(sputter.jpg);|CENTER: &ref(oxidation.jpg);|CENTER: &ref(palylen.jpg);|
|CENTER: 真空蒸着器 2台|CENTER: スパッタ 2台|CENTER: 熱酸化炉 1台|CENTER: パリレンコーター 1台|

**エッチング装置 [#b6b9eb3c]
|CENTER: &ref(RIE.jpg);|CENTER: &ref(ICPRIE.jpg);|
|CENTER: RIE 2台|CENTER: ICP-RIE 2台|

**観察装置 [#m8ce4997]
|CENTER: &ref(Hisomet.jpg);|CENTER: &ref(yet.jpg);|CENTER: &ref(yet.jpg);|
|CENTER: &ref(Hisomet.jpg);|CENTER: &ref(sem.jpg);|CENTER: &ref(fesem.jpg);|
|CENTER: レーザー顕微鏡 1台|CENTER: SEM 1台|FE-SEM 1台|

**露光装置 [#z6f349a0]
|CENTER: &ref(yet.jpg);|CENTER: &ref(DoubleMASK.jpg);|
|CENTER: &ref(suss.jpg);|CENTER: &ref(DoubleMASK.jpg);|
|CENTER: 片面アライナー 1台|CENTER: 両面アライナー 2台|

**その他 [#ibb707b7]
|CENTER: &ref(yet.jpg);|CENTER: &ref(yet.jpg);|CENTER: &ref(yet.jpg);|CENTER: &ref(yet.jpg);|CENTER: &ref(WireBOND.JPG);|
|CENTER: スピンコーター 2台|CENTER: プローバー 1台|CENTER: CMP 1台|CENTER: オーブン 1台|CENTER: ワイヤーボンダー 2台|
|CENTER: &ref(prober.jpg);|CENTER: &ref(oven.jpg);|CENTER: &ref(WireBOND.JPG);|CENTER: &ref(dansa.jpg);|
|CENTER: プローバー 1台|CENTER: オーブン 1台|CENTER: ワイヤーボンダー 2台|CENTER: 段差計 1台|

*TEM部屋 [#n4e0fb2f]
**観察装置 [#he276984]
|CENTER: &ref(FB2000.jpg);|CENTER: &ref(S4700.jpg);|CENTER: &ref(HD2300.jpg);|CENTER: &ref(HF2000UHV.jpg);|CENTER: &ref(AFM.jpg);|
|CENTER: FIB 1台|CENTER: FESEM(EDAX付) 1台|CENTER: STEM(EDAX付) 1台|CENTER: 超高真空TEM 1台|CENTER: AFM(液中可) 1台|

**その他 [#cce4cee3]
|CENTER: &ref(vacuum_prober.jpg);|CENTER: &ref(plasma_cleaner.jpg);|CENTER: &ref(carbon_coater.jpg);|CENTER: &ref(supetter_TEM.jpg);|
|CENTER: 真空プローバー 1台|CENTER: プラズマクリーナー 1台|CENTER: カーボンコーター 1台|CENTER: スパッタ 1台|

*Bio部屋 [#be5101f3]
**観察装置 [#s5770154]
|CENTER: &ref(fluor_scope.JPG);|CENTER: &ref(bibun_scope.JPG);|CENTER: &ref(long_scope.JPG);|
|CENTER: 蛍光顕微鏡 1台|CENTER: 微分干渉顕微鏡 1台|CENTER: 長焦点距離顕微鏡 1台|

**バイオ操作 [#t832226d]
|CENTER: &ref(cleanbench.JPG);|CENTER: &ref(freezer1.JPG);&ref(freezer2.JPG);|CENTER: &ref(center.JPG);|
|CENTER: クリーンベンチ 1台|CENTER: 冷凍庫 2台|CENTER: 遠心分離機 1台|
|CENTER: &ref(cleanbench.JPG);|CENTER: &ref(incubator.JPG);|CENTER: &ref(autoclave.JPG);|CENTER: &ref(shaker.JPG);|
|CENTER: クリーンベンチ 1台|CENTER: オートクレーブ 1台|CENTER: インキュベータ 1台|CENTER: 振とう器 1台|

**その他 [#j0b6eb3a]
|CENTER: &ref(absorb.JPG);|CENTER: &ref(farad.JPG);|CENTER: &ref(plazma.JPG);|
|CENTER: 吸光光度計 1台|CENTER: ファラデーケージ 1台|CENTER: プラズマクリーナー 1台|



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