感光したレジストを現像する。

ノウハウ

現像していく過程を見ているほうが良い。

現像後はしっかり洗う

エッチングが進まないときは、現像不足の時があるので注意。
かといって長時間現像するとパターンの形が崩れたり、レジストがはがれたりするので、適当なところでやめる。 この判断はちゃんと条件を出していれば(液温とか濃度を管理して)、時間で管理しても良いが、パターンを見ながら行うほうが確実。
全然見えないときは、やはりちゃんと条件だしをする必要がある。


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