*2016年冬学期 マイクロメカトロニクス 講義スライド [#db3dd6fe]
パスワードは講義内で発表します。

**&color(darkcyan){2016年9月26日 第1回}; [#y3ac3213]
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~sano/micromechatronics16/16Introduction.pdf)
**&color(darkcyan){2016年10月3日 第2回 Dr. Sato}; [#y3ac3213]
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~sano/micromechatronics16/20161003.pdf)
**&color(darkcyan){2016年10月17日 第3回}; [#y3ac3213]
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~sano/micromechatronics16/16_Anisotropic_etching_process.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~sano/micromechatronics16/16_IC_compatible_mictomachining.pdf)

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