2016年冬学期 マイクロメカトロニクス 講義スライド / Lecture notes

パスワードは講義内で発表します。

2016年9月26日 第1回

file16Introduction.pdf

2016年10月3日 第2回 Dr. Sato

file20161003.pdf

2016年10月17日 第3回

file16_Anisotropic_etching_process.pdf
file16_IC_compatible_mictomachining.pdf

2016年10月24日 第4回

file16_Anisotropic_etching_process.pdf

2016年10月31日 第5回

file16_Nonconventional_process.pdf
file16_microactuators_1.pdf

2016年11月7日 第6回

file16_Electrostatic_actuators.pdf

2016年11月14日 第7回

file16_Mag_thermo_piezo_actuators_1.pdf

クイズ / Quizzes

Basically, evaluation will be based on these reports. (Some points for attendance / No exams)

第1回

file16_Micromechatronics_Quiz_1.pdf

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