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*宿題を提出する際の注意(遵守のこと) [#q3cd692b]
-メールの件名を必ず「マイクロメカトロニクス2008宿題」としてください。これ以外の件名の場合、迷惑メールとして自動削除されますので、ご注意ください。

-メールはテキスト形式で作成してください。HTML形式のメールでは添付ファイルをダウンロードできない場合があります。

-解答ファイルの1ページ目1行目に、必ずご自分の学籍番号(半角数字)と氏名(日本人は漢字、留学生は半角英字で)を明記してください。これがない場合、記名なしとして採点されない場合があります。

-解答ファイルは必ずPDFにしてください。

-PDFファイルのファイル名には学籍番号(半角数字)と姓名(半角英小文字で)をつけてください。[例:37-099099tanaka]

-送付先はokamats@iis.u-tokyo.ac.jpです。

以上についてはクイズ2から、遵守してくださいますようお願いします。

*講義スライド [#v2ed5678]
*クイズ [#v2ed5678]

**クイズ [#w0fff118]
-クイズ 2(72KB) 2008年12月15日(月)提出締切
#ref(08quiz2.pdf)
-クイズ 1(54KB)
#ref(08quiz1.pdf)

*講義スライド [#v2ed5678]

**講義概要 [#c02acad7]
-講義概要pp.1-12 (299KB)
#ref(08lecture_guide_1-12.pdf)
-講義概要pp.13-43 (996KB)
#ref(08lecture_guide_13-43.pdf)

**半導体マイクロマシニング [#ta9bfc39]
-半導体マイクロマシニングpp.1-32 (644KB)
#ref(08micromachining_1-32.pdf)
-半導体マイクロマシニングpp.33-40 (635KB)
#ref(08micromachining_33-40.pdf)
-半導体マイクロマシニングpp.41-49 (857KB)
#ref(08micromachining_41-49.pdf)

**異方性エッチング [#ta9bfc39]
-異方性エッチングpp.1-23 (809KB)
#ref(08etching_1-23.pdf)
-異方性エッチングpp.24-44 (641KB)
#ref(08etching_24-44.pdf)

**アクチュエーター [#ta9bfc39]
-アクチュエーターpp.1-11 (206KB)
#ref(08actuator_1-11.pdf)
-アクチュエーターpp.12-25 (1008KB)
#ref(08actuator_12-25.pdf)
-アクチュエーターpp.26-53 (422KB)
#ref(08actuator_26-53.pdf)

**マイクロアクチュエーター [#ta9bfc39]
-マイクロアクチュエーター (998KB)
#ref(08microactuator.pdf)

**アクチュエーター2 [#ta9bfc39]
-アクチュエーター2pp.1-33 (879KB)
#ref(08actuator2_1-33.pdf)
-アクチュエーター2pp.34-59 (839KB)
#ref(08actuator2_34-59.pdf)
-アクチュエーター2pp.60-86 (876KB)
#ref(08actuator2_60-86.pdf)
-アクチュエーター2pp.87-102 (910KB)
#ref(08actuator2_87-102.pdf)

**アクチュエータ流体生体[#ta9bfc39]
-アクチュエータ流体生体pp.1-36 (941KB)
#ref(08liquid_handling_1-36.pdf)
-アクチュエータ流体生体pp.37-48 (845KB)
#ref(08liquid_handling_37-48.pdf)
-アクチュエータ流体生体pp.49-59 (762KB)
#ref(08liquid_handling_49-59.pdf)

**様々な分野への応用[#ta9bfc39]
-様々な分野への応用pp.1-13 (517KB)
#ref(08applications_1-13.pdf)
-様々な分野への応用pp.14-28 (752KB)
#ref(08applications_14-28.pdf)
-様々な分野への応用pp.29-49 (871KB)
#ref(08applications_29-49.pdf)



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