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*宿題を提出する際の注意(遵守のこと) [#q3cd692b]
-メールの件名を必ず「マイクロメカトロニクス2008宿題」としてください。これ以外の件名の場合、迷惑メールとして自動削除されますので、ご注意ください。

-メールはテキスト形式で作成してください。HTML形式のメールでは添付ファイルをダウンロードできない場合があります。

-解答ファイルの1ページ目1行目に、必ずご自分の学籍番号(半角数字)と氏名(日本人は漢字、留学生は半角英字で)を明記してください。これがない場合、記名なしとして採点されない場合があります。

-解答ファイルは必ずPDFにしてください。

-PDFファイルのファイル名には学籍番号(半角数字)と姓名(半角英小文字で)をつけてください。[例:37-099099tanaka]

-送付先はokamats@iis.u-tokyo.ac.jpです。

ご協力お願いします。
以上についてはクイズ2から、遵守してくださいますようお願いします。

*講義スライド [#v2ed5678]

**クイズ [#w0fff118]
-クイズ1(54KB)
#ref(08quiz1.pdf)

**講義概要 [#c02acad7]
-講義概要pp.1-12 (299KB)
#ref(08lecture_guide_1-12.pdf)
-講義概要pp.13-43 (996KB)
#ref(08lecture_guide_13-43.pdf)

**半導体マイクロマシニング [#ta9bfc39]
-半導体マイクロマシニングpp.1-32 (644KB)
#ref(08micromachining_1-32.pdf)
-半導体マイクロマシニングpp.33-40 (635KB)
#ref(08micromachining_33-40.pdf)
-半導体マイクロマシニングpp.41-49 (857KB)
#ref(08micromachining_41-49.pdf)


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