[[Front Page]]

*宿題を提出する際の注意(遵守のこと) [#k3aaf1ba]
-メールの件名を必ず「マイクロメカトロニクス2008宿題」としてください。これ以外の件名の場合、迷惑メールとして自動削除されますので、ご注意ください。
*マイクロメカトロニクス講義 [#w8008dea]
-[[レポート課題:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/Report201101v2.pdf]]
-レポートは、2月14日17:00までに電気事務室に提出すること。

-メールはテキスト形式で作成してください。HTML形式のメールでは添付ファイルをダウンロードできない場合があります。

-解答ファイルの1ページ目1行目に、必ずご自分の学籍番号(半角数字)と氏名(日本人は漢字、留学生は半角英字で)を明記してください。これがない場合、記名なしとして採点されない場合があります。

-解答ファイルは必ずPDFにしてください。

-PDFファイルのファイル名には学籍番号(半角数字)と姓名(半角英小文字で)をつけてください。[例:37-099099tanaka]

-送付先はokamats@iis.u-tokyo.ac.jpです。

以上についてはクイズ2から、遵守してくださいますようお願いします。

*クイズ [#c2fb6ae9]

-レポート(62KB) 2009年2月12日(木)正午 提出締切
#ref(08report.pdf)
-クイズ 2(72KB) 2008年12月15日(月)提出締切
#ref(08quiz2.pdf)
-クイズ 1(54KB)
#ref(08quiz1.pdf)

*講義スライド [#tc8678b6]

**講義概要 [#ge11445f]
-講義概要pp.1-12 (299KB)
#ref(08lecture_guide_1-12.pdf)
-講義概要pp.13-43 (996KB)
#ref(08lecture_guide_13-43.pdf)
//**講義概要 [#ge11445f]
//-講義概要
//#ref(10講義概要J&E.pdf)

**半導体マイクロマシニング [#j3729420]
-半導体マイクロマシニングpp.1-32 (644KB)
#ref(08micromachining_1-32.pdf)
-半導体マイクロマシニングpp.33-40 (635KB)
#ref(08micromachining_33-40.pdf)
-半導体マイクロマシニングpp.41-49 (857KB)
#ref(08micromachining_41-49.pdf)
-[[講義概要:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/01lecture_guide.pdf]] (10/4)
-[[半導体マイクロマシニング1:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/02micromachining1.pdf]] (10/18)
-[[半導体マイクロマシニング2:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/02micromachining2.pdf]] (10/25)
-[[異方性エッチング1:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10anisotropicaletching1.pdf]] (11/1)
-[[異方性エッチング2:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10anisotropicaletching2.pdf]] (11/8)
-[[アクチュエータ1:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10actuators1.pdf]] (11/15)
-[[アクチュエータ2:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10actuators2.pdf]] (11/22)
-[[アクチュエータ3:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10actuators3.pdf]] (11/29)
-[[アクチュエータ4:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10actuators4.pdf]] (12/6)
-[[アクチュエータ流体生体1:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10actuatorsInWater1.pdf]] (12/13)
-[[バイオインタフェース細胞工学1:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10bio-interface1.pdf]] (12/20)
-[[物理センサ応用1:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10physicalsensor1.pdf]] (1/7)
-[[物理センサ応用2:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10physicalsensor2.pdf]] (1/17)
-[[IT応用:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10ITapplications.pdf]] (1/17)
-[[光応用:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10OpticalMEMS.pdf]] (1/24)
-[[ナノテク応用:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/10nanoapplication.pdf]] (1/31)

**異方性エッチング [#affb3221]
-異方性エッチングpp.1-23 (809KB)
#ref(08etching_1-23.pdf)
-異方性エッチングpp.24-44 (641KB)
#ref(08etching_24-44.pdf)

**アクチュエーター [#q4a52b57]
-アクチュエーターpp.1-11 (206KB)
#ref(08actuator_1-11.pdf)
-アクチュエーターpp.12-25 (1008KB)
#ref(08actuator_12-25.pdf)
-アクチュエーターpp.26-53 (422KB)
#ref(08actuator_26-53.pdf)

**マイクロアクチュエーター [#m52c2a80]
-マイクロアクチュエーター (998KB)
#ref(08microactuator.pdf)

**アクチュエーター2 [#z426dfa2]
-アクチュエーター2pp.1-33 (879KB)
#ref(08actuator2_1-33.pdf)
-アクチュエーター2pp.34-59 (839KB)
#ref(08actuator2_34-59.pdf)
-アクチュエーター2pp.60-86 (876KB)
#ref(08actuator2_60-86.pdf)
-アクチュエーター2pp.87-102 (910KB)
#ref(08actuator2_87-102.pdf)

**アクチュエータ流体生体 [#uc97c5f1]
-アクチュエータ流体生体pp.1-36 (941KB)
#ref(08liquid_handling_1-36.pdf)
-アクチュエータ流体生体pp.37-48 (845KB)
#ref(08liquid_handling_37-48.pdf)
-アクチュエータ流体生体pp.49-59 (762KB)
#ref(08liquid_handling_49-59.pdf)

**様々な分野への応用 [#gc32fbbb]
-様々な分野への応用pp.1-13 (517KB)
#ref(08applications_1-13.pdf)
-様々な分野への応用pp.14-28 (752KB)
#ref(08applications_14-28.pdf)
-様々な分野への応用pp.29-49 (871KB)
#ref(08applications_29-49.pdf)

**IT バイオ ナノへの応用 [#n446d2f7]
-IT バイオ ナノへの応用pp.1-24 (686KB)
#ref(08ITBioNano_1-24.pdf)
-IT バイオ ナノへの応用pp.25-48 (826KB)
#ref(08ITBioNano_25-48.pdf)
-IT バイオ ナノへの応用pp.49-63 (537KB)
#ref(08ITBioNano_49-63.pdf)


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