**MEMS関係で参考になる書籍
-「マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス」(通称:「黒い本」)
--バイブル的存在だが内容は古い。
-「シリコンマイクロ加工の基礎」(通称:「赤い本」)
--主にプロセスについてだが、その他のことも載っているので一度目を通すと良い
#author("2017-02-24T12:48:43+09:00","default:fujita","fujita")

**藤田先生の著書
-マイクロマシンの世界―超微細機械開発へのアプローチ(ケイブックス)
-マイクロ・ナノマシン技術入門―半導体技術で作る微小機械とその応用(工業調査会)
-マイクロ知能化運動システム―マイクロマシンの工学的実現



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