蒸発させて材料をとばし、サンプル上に堆積させる。
一般に蒸着する材料は直進するので影になる部分、側壁には堆積することができない。
側壁に蒸着したい場合は斜め蒸着?を参考にする。

真空蒸着器

どんな装置でも「真空」何だけれどもこういうタイプを一般に「真空蒸着器」と呼んでいる。 正確には「熱」真空蒸着器となるのだろうか?

タングステンのボートやフィラメントに電流を流し、そのジュール熱で材料を蒸発させる。

ボートの場合、材料をたくさんのせると、溶けたときにその材料が電極間をショートさせてしまい、ボートに電流が流れず材料に流れてしまう。
こうなると全然飛ばなくなるか、一部ボートが露出した部分に電流が集中し、そこだけ焼き切れてしまう。 そのとき、タングステンが飛ぶことになるので注意が必要。
厚い膜を堆積するときは、るつぼやコイル上のフィラメントを使うと良い。

電子ビーム(EB)蒸着

電子ビームで材料を蒸発させてとばし、サンプルに堆積させる方法


トップ   新規 一覧 単語検索 最終更新   ヘルプ   最終更新のRSS