蒸発させて材料をとばし、サンプル上に堆積させる。~
一般に蒸着する材料は直進するので影になる部分、側壁には堆積することができない。~
側壁に蒸着したい場合は[[斜め蒸着]]を参考にする。
**真空蒸着器
どんな装置でも「真空」何だけれどもこういうタイプを一般に「真空蒸着器」と呼んでいる。
正確には「熱」真空蒸着器となるのだろうか?
#author("2017-02-24T12:49:11+09:00","default:fujita","fujita")

タングステンのボートやフィラメントに電流を流し、そのジュール熱で材料を蒸発させる。

ボートの場合、材料をたくさんのせると、溶けたときにその材料が電極間をショートさせてしまい、ボートに電流が流れず材料に流れてしまう。~
こうなると全然飛ばなくなるか、一部ボートが露出した部分に電流が集中し、そこだけ焼き切れてしまう。
そのとき、タングステンが飛ぶことになるので注意が必要。~
厚い膜を堆積するときは、るつぼやコイル上のフィラメントを使うと良い。

**電子ビーム(EB)蒸着
電子ビームで材料を蒸発させてとばし、サンプルに堆積させる方法



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