恵まれた環境で、マイクロマシンの研究と生活の両方を楽しむ研究室です。集積回路技術を用いてミクロの世界の機械(マイクロマシン)を実現する研究をしています。髪の毛の太さ位(直径100μm)のモータを静電気で回したり、生体のせん毛の真似をして長さ500μmのアクチュエータをたくさん並べて振動させ、上に置いたシリコンウェハーを運んだりしています。

設備は、シリコンのプロセス装置が完備しているクリーンルームと立体微細加工(マイクロマシーニング)をするためのクリーンルームがあり、いつでも自由に使えます。SEMやマイクロマニピュレータ等で、作ったデバイスの動きも調べられます。新しいアイディアを実際のマイクロマシンとして実現し、試験できるまでの時間が、極めて短くできるように工夫して、進歩の速いこの分野で、いつも先頭にいられるようがんばっています。この他、マイクロマシンの設計や解析用のワークステーションやパソコンも多数あり、計算通信環境も整っています。

研究テーマは新規なマシンやプロセスを工夫したり、マイクロマシンと他のデバイスを集積化してハードディスク、光技術や原子分子操作への応用を試みたり、生体から学んだシステム構造をマイクロマシーニングで実現したりと、広い範囲に渡っています。国際的な評価も高く、フランスから共同研究を申し込まれたり、世界7カ国の学生を受入れたり、国際会議の出席のチャンスも多いので、楽しく研究して世界に雄飛したい方は是非どうぞ。


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