硫酸と過酸化水素水を混合したもの。
主に、有機・金属の汚れを取る。
#author("2017-02-24T12:50:13+09:00","default:fujita","fujita")

[[ピラニア洗浄]]とかSPMとも言う

シリコン表面に薄い酸化膜ができるので、希フッ酸で除去する必要もある。



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