[[Front Page]]

//*マイクロメカトロニクス講義 [#h2c75d57]
//-[[レポート課題:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/Report201101v2.pdf]]
//-レポートは、2月14日17:00までに電気事務室に提出すること。


*講義スライド [#db3dd6fe]

//**講義概要 [#ge11445f]
//-講義概要
//#ref(10講義概要J&E.pdf)

#ref(12Introduction-1.pdf)
#ref(12Introduction-2.pdf)
//#ref(12 Micromachining 1.pdf)
#ref(temp.pdf)
#ref(fontari.pdf)
#ref(fontarikagiari.pdf)
#ref(fontnashi.pdf)
#ref(fontnashikagiari.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/12Introduction1.pdf)
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#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/12micromachining1.pdf)
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#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/DryEtching.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/WetEtching.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/CMOSintegratedMEMS.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/Actuator_Intro.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/Electrostatic_actuators1-1.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/Electrostatic_actuators1-2.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/Quiz_due_Nov_19.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/12MicroMechatronicsQuiz2.pdf)

//&ref(12 Micromachining 1.pdf);
//2013年
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/MicromechatronicsFinalReport2013.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/NanotechApplications1.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/NanotechApplications2.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/BioApplications1.pdf)
#ref(http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/~takayama/lecture2012/BioApplications2.pdf)

//-[[aaa:12 Introduction.pdf]] (10/4)
//-[[bbb:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/02micromachining1.pdf]] (10/18)


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