[[Front Page]]

//*マイクロメカトロニクス講義 [#h2c75d57]
//-[[レポート課題:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/Report201101v2.pdf]]
//-レポートは、2月14日17:00までに電気事務室に提出すること。


*講義スライド [#db3dd6fe]

//**講義概要 [#ge11445f]
//-講義概要
//#ref(10講義概要J&E.pdf)

#ref(12Introduction1.pdf)
#ref(12Introduction2.pdf)
#ref(12micromachining1.pdf)
#ref(12micromachining2.pdf)
#ref(DryEtching.pdf)
#ref(WetEtching.pdf)
#ref(CMOSintegratedMEMS.pdf)
#ref(Actuator Intro.pdf)


//-[[aaa:12 Introduction.pdf]] (10/4)
//-[[bbb:http://itokon.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/lecture2010/02micromachining1.pdf]] (10/18)


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