Reactive Ion Etching([[RIE]])のこと。
本来は[[ICP-RIE]]に対してCCP-RIE(Capacitive Coupled Plasma-[[RIE]]:
容量結合プラズマ[[RIE]])と呼ぶところだけれど、省略して[[RIE]]と読んでいる。
#author("2017-02-24T12:40:22+09:00","default:fujita","fujita")



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